Optotherm, 초고해상도 중적외선 열화상 카메라 ‘MW640-15’

Optotherm의 MW640-15는 반도체 IC 고장 분석과 미세 열 측정을 위해 설계된 중적외선(MWIR) 열화상 카메라로, 고감도와 고해상도를 동시에 구현한 것이 특징이다.

이 제품은 NETD 20mK 이하의 감도를 제공해 미세한 온도 변화까지 정밀하게 검출할 수 있으며, 락인(lock-in) 열화상 분석 시 측정 시간을 단축하는데 기여한다. 또한 높은 공간 해상도를 기반으로 최대 1㎛ 수준의 IC 구조 식별이 가능해 전자 부품의 미세 결함 분석에 적합하다.

MW640-15는 640×512 해상도의 15㎛ 픽셀 피치를 갖는 MCT 검출기를 적용했으며, 스털링 엔진을 통해 약 80K까지 냉각되는 구조를 갖는다. 이를 통해 고감도 열 측정 성능을 안정적으로 유지할 수 있다.

프레임 속도는 풀프레임 기준 115Hz, 윈도 모드에서는 최대 1550Hz까지 지원해 동작 중인 반도체 소자의 열 거동과 과도 특성을 실시간으로 분석할 수 있다. 특히 MWIR 대역(3~5㎛)의 특성을 활용해 실리콘 내부를 투과 관찰할 수 있어, 디바이스 후면에서 금속화 영역과 구조를 직접 확인할 수 있는 것이 강점이다.

이 카메라는 핫스팟 검출, 접합 온도 측정, 반도체 트랜지언트 분석 등 다양한 전자 분석 공정에 활용할 수 있다.

자료제공: Optotherm(www.optotherm.com)