Excelitas, UV 레이저 재료 가공에 최적화된 ‘LINOS UV F-Theta’ 렌즈
Excelitas Technologies는 최근 340nm-360nm 파장 범위를 위한 저가스 배출 LINOS UV F-Theta Ronar 렌즈를 발표했다. 이새로운 렌즈는 시장에 출시된 최초의 가스 배출이 적은 설계의 스테인리스 스틸 UV F-Theta 렌즈로, 기존 제품보다 훨씬 높은 내구성을 제공하여 반도체, 웨이퍼 가공 및 전자 디스플레이 산업의 레이저 재료 가공 응용 분야에서 더 높은 UV 펄스 에너지와 더 짧은 레이저 펄스를 처리할 수 있다.
또한 고급 용융 실리카 렌즈 소재와 스테인리스 스틸 하우징, 고급 광대역 렌즈 코팅을 결합하여 뛰어난 광학 성능을 구현할 뿐아니라, 렌즈 설계는 스캐너 미러의 손상을 방지하기 위해 후면 반사를 최적화하고 최소화한 것이 특징이다. 또한 렌즈의 포장과 더스트 캡 재질은 가스 방출이 적은 특성을 제공한다.
주요 제품 특성은 다음과 같다.
• 가스 배출이 적은 설계, 생산 및 조립으로 민감한 UV 공정에서 오염을 최소화하고 렌즈 내 오염 물질 감소로 서비스 수명을 연장한다. • 반도체 제조, 평판 디스플레이 및 태양 전지 제조와 같은 하이엔드 UV 레이저 애플리케이션에 사용할 수 있다.
• UV 파장에 최적화된 설계와 340nm~360nm의 하이엔드 광대역 코팅으로 디스크, 파이버 및 DSSP 레이저를 비롯한 레이저 유형과 웨이퍼 다이싱, 어닐링 및 태양전지 공정 애플리케이션에 적합하다.
• 더 높은 출력(최대 100W)과 짧은 펄스(500펨토초 이상)를 처리할 수 있어 저온 레이저 공정이 가능하고 열 영향 영역(HAZ) 을 최소화하여 정밀 레이저 가공을 개선한다.
• 최첨단 생산 공정으로 가스 배출을 최소화하고 장기적인 광학 안정성을 보장한다.
• 후면 반사 최적화를 통해 스캐너 미러 손상을 최소화하고 수명을 연장한다.
Excelitas의 애플리케이션 엔지니어인 Matthias Koppitz는 “레이저 재료 가공을 위한 광범위한 LINOS F-Theta-Ronar 렌즈 라인에 가장 최근에 추가된 340nm-360nm 파장 범위의 UV F-Theta Ronar 렌즈를 소개하게 되어 기쁘게 생각한다”며 “프레임 재질로 인해 뛰어난 내구성을 제공할 뿐만 아니라 보조 재료를 대폭 줄이고 깨끗한 조립 공정을 개선하여 다양한 UV 레이저 응용 분야에 이상적인 렌즈이다”라고 강조했다.
340nm-360nm 파장 범위용 저가스 배출 LINOS UV F-Theta Ronar 렌즈는 340nm-360nm 파장 범위용 LINOS UV 빔 익스 팬더 1x-4x와 이상적인 조화를 이룬다. 가스 배출이 적은 설계를 필요로 하지 않은 응용 분야를 위해서는 비용 최적화된 무색 알루 미늄 버전으로도 제공된다.
자료제공: Excelitas(www.excelitas.com)
