이오비스/Nexensor 대면적 간섭계 3D 센서

 



XI-2

 

 

 

*초고속, 초정밀 형상 측정 3D 센서(간섭측정법 원리)
*대면적 스캔(최대 FOV 100mm × 100mm)
*10 μm이하 수평 분해능(Lateral Resolution) 
*100 nm 반복 정밀도, 1초 스캔 시간
*단층 박막(Passivation층) 두께 측정 특화 기술

 

이오비스  www.iovis.co.kr

 


기자 : 비전시스템

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