세미콘 코리아 2017 주요 참가 업체 취재기

지난 2월 코엑스에서 3일간 국내외 반도체 재료 및 장비 업체들이 참가하는 반도체 전문 전시회 ‘세미콘 코리아 2017’이 개최되었다. 전시회에 참가한 업체들은 자사의 최신 반도체 재료 관련 장비와 기술을 선보이며 참관객들에게 반도체 제조 프로세스와 이에 필요한 관련 장비 및 기술에 대한 이해를 도왔다. 이에 본지는 이번 글을 통해 전시회 주요 참가 업체들과 그들이 공개한 제품에 대한 정보를 제공하고자 한다.

씨크 코리아
산업용 센서, 안전 센서, 인코더 등을 전문 제조하는 씨크의 한국 지사인 씨크 코리아는 안전 시스템인 Flexi Loop와 3D 비전 센서인 TriSpector1000 등을 공개했다.

Flexi Loop는 전자 제품과 자동차 제품 제조 과정에 쓰이는 안전 시스템으로, 시스템에 적용된 노드를 통해 시리얼 연결을 수행하는데, 이 때 노드 간의 거리는 1km까지 연장 가능하다.
한편, Flexi Loop는 증설형으로 설계되어 있어 설치가 간편하며, 시스템 고장 발생 시 문제가 되는 부분만 수리하면 되는 구조를 갖추고 있어 유지보수의 간편화를 높일 수 있다. 사용자는 이 같은 Flexi Loop에 있는 루프 1개에 32개의 센서를 연결할 수 있다.
TriSpector1000은 지난해 하반기에 출시된 All-In-One 유형의 3D 비전 센서로, 제약품과 식료품 검사에 적용된다. TriSpector1000은 제품의 기존 이미지와 현재의 이미지를 3D로 비교해 이상 여부를 검사하며, 씨크가 자체 개발한 검사 및 측정용 소프트웨어인 SOPAS를 갖추고 있다. 사용자는 SOPAS를 통해 TriSpector1000의 검사 및 측정에 필요한 준비 작업을 간편하게 마칠 수 있다.

하이덴하인코리아
인코더와 CNC 컨트롤 솔루션, 측정 장비를 제조하는 하이덴하인의 한국 지사인 하이덴하인코리아는 리니어 스케일과 앱솔루트 스케일 등을 선보였다.

리니어 스케일은 디스플레이 장비 부품을 제조하는 현장에서 활용되는 장비로, 하이덴하인이 독자적으로 만든 신호 프로세스인 HSP를 내장하고 있는데, HSP는 제품 오염이 발생했을 때 오염을 탐지해 에러가 출력되는 현상을 사전에 방지한다. 한편, 리니어 스케일에 적용된 로박스 재질은 주위 온도 변화로부터 제품이 영향을 받지 않도록 보호하는데, 이는 제품이 정밀도를 유지할 수 있도록 지원하는 역할을 수행한다.
앱솔루트 스케일의 경우 반도체 제품과 디스플레이 장비를 제조하는 현장에 적용되는데, 일반적인 스케일 제품이 전원 OFF 시 장비의 기준점을 잃어버리는 반면에 앱솔루트 스케일은 전원이 꺼져도 기준점을 기억할 수 있다. 또한 앱솔루트 스케일은 고객 맞춤 제작이 가능해 사용자가 제품을 적용할 현장에 맞게 조정할 수 있다.

M2I
산업용 터치형 표시 조작기 전문 제조업체인 M2I는 자사의 산업용 PC, 터치패널, 티치 팬던트를 중점적으로 선보였다.
산업용 PC인 TOP-PPC는 제조 장비 관리에 적합한 15인치 제품으로, SCADA 프로그램을 내장하고 있다. 또한 TOP-PPC는 Windows Embedded 7을 활용하며, SSD와 8GB RAM을 장착 가능한 최고 사양과 8GB RAM과 64GB EMM을 장착 가능한 최저 사양을 갖추고 있다.

터치패널인 TOPR은 자동차 제조 현장에서 쓰이는 산업용 로봇에 적용되는데, 기본적으로 15인치로 설계되었다. 이 같은 TOPR은 표준형과 프리미엄형으로 구성되어 있는데, 두 제품 모두 내장/외장 카메라와 HDMI 적용이 가능하다. 또한 이 두 유형 모두 별도의 프로세스부를 갖추고 있으며, 쿼드코어 CPU와 4GB의 컬러를 보유하고 있다.
이 밖에도 TOPR의 표준/프리미엄 유형 모두 3중 터치가 가능하며, 전면 액정 파손 발생 시 액정만 교체해도 되는 구조를 갖추고 있다. 또 다른 터치패널인 TOP-RX는 자동차, 반도체, 사출기 제조 환경에서 쓰이는 제품으로, 5/8/10/12/15 인치로 구성되어 있다. 이러한 TOP-RX는 쿼드코어 CPU와 4GB에 이르는 컬러와 RAM과 함께 전반적으로 TOPR과 같은 성능을 갖추고 있다.
티치 팬던트인 TOPRH Series는 자동차 제조 현장 등과 같은 제조 환경에 배치된 로봇을 제어하는 데에 쓰이며, 유/무선형으로 구성되어 있다.
유선형인 TOPRH0700WD는 7인치 화면과 1024×768의 해상도를 갖추고 있으며, 긴급 사용 시 사용자의 스위치 사용이 가능하도록 설계되었다. 또한 TOPRH0700WD에는 Function 키와 쿼드코어 CPU가 적용되었으며, 사용자에게 2포트 시리얼을 지원한다.
한편, 무선형인 TOPRH0700WD-W의 경우 PLC와 연결되어 있는 공유기를 통한 제어를 수행하며, 방수 등급 IP65를 충족시켰다. 추가적으로 TOPRH0700WD-W에는 67000mAh의 배터리가 적용되는데, 이로 인해 사용자는 TOPRH0700WD-W 최대 5시간 동안 연속적으로 사용할 수 있다.

PI Korea
PI Korea는 Hexapod 시스템 중 하나인 Hexapod H-811과 피에조 액추에이터를 중점적으로 선보였다.

Hexapod H-811은 카메라 애플리케이션에 적용되어 사용자의 손 떨림 현상을 예방하는 데에 쓰이는데, 평형 이동으로 원하는 위치까지 한번에 이동하며, 최대 6축까지 이르는 움직임을 수행할 수 있다. 또한 Hexapod H-811은 회전축에서 0.1°의 거리를 20Hz의 속도로 반복 시뮬레이션할 수 있으며, 제품에 적용된 Flexure joint 디자인을 통해 회전이나 마찰을 일으킬 수 있는 요소를 제거해 수백 mm/s의 속도와 4g의 가속을 수행한다.
피에조 액추에이터는 단자 측정 영역과 검사 장비에서 활용되는데, 수만 N에 이르는 블록킹 추력을 갖추고 있어 고속 정밀 제어를 수행 가능하다.

비엔비상사
1991년 설립된 비엔비상사는 광전자 산업과 첨단기술 산업의 발전에 이바지하겠다는 목표로 Light Source 분야와 Optical Sensor 분야에서 다양한 제품들을 국내에 제공하고 있다. 이번 전시회에서 비엔비상사는 LED Illuminator˙250 시리즈와 X-Strobe™ 시리즈를 소개했다.

X-Strobe™는 고출력, 긴 수명, 작은 크기 및 우수한 신뢰성 때문에 다양한 머신 비전 애플리케이션에서 활용되고 있다. X-Strobe™는 CE 인증 기준을 충족하면서 크세논(xenon) 플래시램프 기술, 전원 공급 장치 엔지니어링, 방아쇠 성능 및 리플렉터 설계를 제공한다. 다른 제품들 보다 가변 광도 제어 및 와트 당 더 밝은 출력이 특징 인 X-Strobe ™는 가장 다양한 스트로브 시리즈이다.
크세논(xenon) 플래시램프는 자외선(UV), 가시광선(VIS) 및 근적외선(NIR)을 포괄하는 복사 에너지의 강렬한 펄스를 생성한다. CCD-CID 카메라 시스템에 연결하면 스트로브가 ‘동작을 멈추게’하여 흐려짐을 없애고 이미지 품질을 향상시킨다. 외부 신호 입력을 통해 사용자가 원하는 애플리케이션에 커스터마이징이 가능하다.

대곤 코퍼레이션
모션 컨트롤 전문 업체인 대곤 코퍼레이션(Daekhon Corporation)은 이번 전시회를 통해 PMS(Particle-free Motion Solution)와 최초의 협업 양팔 로봇 YuMiⓇ를 선보였다.

PMS(Particle-free Motion Solution)는 대곤 코퍼레이션이 25년 이상 모션 제어 전문기업으로써 경험과 전공지식을 응용하여 독자 개발한 특허 기술이다. AMOLED, 반도체 및 태양 전지 제조 과정 가운데, 중요한 공정은 일반적으로 진공 환경에서 이뤄지며 챔버의 크기는 재료의 크기에 따라 결정된다. 그러나 공정 중 챔버 내부의 긴 직선 운동 구간을 통과하는 동안 재료가 오염되지 않게 할 모션 제어에 대해 신뢰할만한 솔루션이 없었다. 하지만 PMS는 이러한 진공 환경에서 시스템의 높은 효율과 수율을 달성 할 수 있는 최선의 방법을 제공한다. PMS는 고진공 내에서 모션으로부터 발생할 수 있는 Particle 발생을 억제하면서 여러 개의 carrier를 동시에 개별적으로 정밀제어 할 수 있는 모션 솔루션이다.
YuMi는 최초의 협업 양팔 로봇으로, 작업자와 로봇이 함께 일할 수 있도록 설계되었다. 인간의 모습과 비슷하게 만들어진 YuMi는 일반적인 산업용 로봇과는 다르게 위헙하지 않아 잡업자 가까이에서도 작업할 수 있으며, 협소한 공간에서도 높은 안전성과 정확도를 제공한다. YuMi의 양팔은 각각 7개의 축으로 구성되어 있으며 마그네슘 금속으로 제작 되었다. 사람과 흡사하게 움직이는 것이 특징인데, 이로인해 공간의 효율성을 높여준다.
총 14축의 양팔, 다양한 툴(Vacuum, Gripper, Vision Camera)을 동시에 장착할 수 있는 스마트 그리퍼, 범용 부품 공급장치(universal parts feeding system), 카메라 비전 인식 기술, 최신 모션제어 기술 등이 적용되어 전반적인 소형 부품 조립 분야에 널리 사용될 수 있다.

NIP

앤아이피(주)는 이번 전시회를 통해 새롭게 출시한 POLLUX 시리즈를 소개했다. POLLUX 시리즈는 최대 190fps의 속도로 이미징 획득이 가능한 고해상도, 고속 CMOS 카메라이다. 2개의 케이블을 통해 8W@12V에서 최대 26W@24V까지 전력을 공급해줌으로써 전류소모가 많은 디바이스에서도 운용이 가능하며, PoCL과 PoCXP를 통해 전력과 데이터를 동시에 공급이 가능하다. 현재 POLLUX 카메라는 CoaXPress와 CameraLink 인터페이스를 제공하고 있으며, 12MP / 25MP / 50MP 다양한 해상도의 제품라인을 갖추고 있다.