안전 게이트 감시를 위한 통합 시스템

신성이엔지        www.shinsung.co.kr

신성이엔지가 선보인 ‘파티클(Particle) 가시화 장치’는 먼지를 영상화해서 클린룸에서 먼지가 일어나는 곳이나 직업현장에서 먼지로 인한 불량지점을 찾아 그 원인을 직접 검사한다.

설명에 따르면 0.1 마이크로까지 촬영이 지원되는 시스템으로 눈에 보이지 않는 공기 중의 미세한 먼지까지 포착한다.

이 장치는 레이저를 조사하여 파티클과 부딪혀 산란되는 광원을 영상화하는 시스템이다. 때문에 파티클의 발생 및 움직임을 실시간으로 가시화하여 촬영할 수 있다.

>>>> 주요제품

타입-H
파티클 가시화 시스템 중 최고 감도를 보유했다. 암실 환경에서 0.1 마이크로까지 파티클의 가시화를 보장한다. 초고감도 카메라인 API 카메라를 활용했다.

타입-E
설치 공간이 좁고 사용이 용이한 파티클 가시화 엔트리 모델이다. 암실 환경에서 0.5 마이크로 이상의 파티클 가시화가 지원된다. 활용되는 카메라는 독자적으로 개발한 고감도 CCD 카메라이다.

타입-B
청색 레이저 광원을 사용한 파티클 가시화 시스템이다. 카메라의 고감도 특성을 최대한 사용한 모델로, 활용된 카메라는 API 카메라이다.


■ 주요활용 분야

반도체 메이커 : 제품 표면의 오염 파악, 케미컬 흄 발생 및 거동 파악
클린기기 제조업체 : 청정장비 성능 및 효과 파악, 제품 표면의 오염파악 및 개선효과 검증
의료 관계자 : 외부 오염물질 유입 파악, 포그를 이용한 클린부스 기류 가시화 측정
와이퍼 등 소재 업체 : 2차전기 제조 초음파 융착 시 파티클 발진 및 거동 파악
반도체 장치 업체 : 팹 이송장치 구동부의 파티클 발진원인 파악, 진공챔버장비의 오염발진원인 파악
유리 및 필름 업체 : 편광필름 표면의 오염 파악, 발전원 개선효과 검증
제약 회사 : 약액제조라인의 기류가시화 및 발진원 원인 파악, 작업자 동선 및 동작 분석