사이버옵틱스 신제품 ‘레티클센스 에어본 파티클 센서 쿼츠’ 발표
고정밀 3D 센싱 기술 솔루션을 개발, 제조하는 기업인 사이버옵틱스코퍼레이션(CyberOpticsⓇ)은 지난 달 레티클센스(ReticleSenseⓇ) 무선 측정 포트폴리오 신제품을 발표했다.
새로 선보인 ‘레티클 에어본 파티클 센서 쿼츠’(Airborne Particle Sensor Quartz, 약칭 APSRQ)는 쿼츠 레티클을 다루는 반도체 장비에서 사용할 수 있도록 석영유리 재질의 하우징을 갖추고 있다. 이 제품에는 전 세계 주문자상표부착생산(OEM) 업체와 반도체 팹에서 수율과 장비 업타임을 높이고자 사용되고 있는 사이버옵틱스의 입자 센서 기술과 동일한 기술이 적용돼 있다.
반도체 팹의 스캐너 용도로 설계, 개발된 ‘레티클센스 APSRQ’는 ASML, 니콘(Nikon) 및 캐논(Canon) 스캐너와 호환되는 데 필요한 모든 정렬 마크와 바코드를 구비하고 있다. APSRQ는 쿼츠 레티클과 마찬가지로 스캐너에 직접 장착할 수 있으며 전 레티클 경로를 따라 입자의 발생 시간과 위치를 실시간으로 검출할 수 있다.
웨이퍼센스(WaferSenseⓇ)와 레티클센스 에어본 파티클 센서는 장비 엔지니어가 장비 검증, 제품 출시 및 유지보수 주기까지 소요되는 시간을 단축시키는 동시에 비용을 절감할 수 있도록 뒷받침한다. 고객들은 시간과 비용을 각각 최대 88%, 95%까지 줄이는 한편, 웨이퍼센스나 레티클센스 센서를 이용해 기존의 표면 검사 웨이퍼 방식에 비해 절반의 인력으로 처리량을 최대 20배까지 높이는 성과를 거두고 있다.
